手套箱功能原理
手套箱箱体内的工作气体在箱体与净化柱(水氧吸附器)之间,在PLC的控制和监视下,通过管道、循环风机等进行密闭循环。工作气体循环经过净化柱时其所含水分和氧气被吸附掉,然后再返回箱体内,随着循环时间的推移,箱体内工作气体中的水氧含量逐步减少,终达到小于1ppm的指标。净化柱在一定时间的循环后会吸附饱和,可进行再生,重复使用。
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手套箱结构原理
主要由主箱体、过渡室两部分组成。如用户有其它特殊要求,也可以根据需要进行设计制造。
主箱体上有两个(或两个以上)手套操作接口,分布在箱体的前边(或前后两边),这使得本操作箱能被一个(或几个)人同时操作,提高了箱体的使用效率。另外,在箱体的前面(或前后)都有观察窗,手套箱厂家,操作者能够清楚地观察到箱体内的操作过程,手套箱,使得操作过程直观地展现在操作者的眼前。过渡室的阀门上有抽气与充气接嘴,在需要抽气或充气时可由此接入。主箱体上也安装有阀门和接嘴,用户在需要维持气压平衡而对主箱体放气或充气时可以使用(手套口之间的三通阀必要时也可以用来放气)。主箱体的前观察窗上方安装了照明日光灯。
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真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极,薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟,手套箱生产厂家,加热蒸发舟蒸镀有机 材料;在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟,金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作,电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上,其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案,并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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